Хагас дамжуулагч шүүлтүүрүүд

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрүүд:

Чип үйлдвэрлэхэд хийн цэвэр байдлыг хангах

Нарийвчлал ба цэвэр байдал хамгийн чухал байдаг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй ертөнцөд чанар

ашигласан хий нь үйл явцын амжилтыг тодорхойлоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Хязгааргүй бага түвшинд ч гэсэн хольцууд нь

микрочипийн нарийн хэлхээнд хор хөнөөл учруулж, тэдгээрийг гэмтэлтэй, ашиглах боломжгүй болгож болзошгүй. Хамгаалахын тулд

Энэхүү чухал үйл явцын хувьд хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр нь бохирдуулагчийг нямбай арилгаж, хатуу хамгаалагчийн үүрэг гүйцэтгэдэг.

мөн үйлдвэрлэлийн шугамаар урсдаг хийн цэвэр чанарыг хангах.

Шалгарсан металл шүүлтүүрийн олон гайхалтай шинж чанар, давуу талууд байдаг

1. Хамгийн сүүлийн үеийн цэвэр өрөөний орчинд бүтээгдсэн

Эдгээр шүүлтүүрүүд нь хамгийн сүүлийн үеийн цэвэр өрөөнд, болзошгүй бохирдлыг багасгахын тулд цэвэр цэмцгэр нөхцлийг нямбайлан хадгалдаг орчинд бий болдог. Тэдгээр нь цэвэршүүлсэн агаарын агаар мандал дор нарийн гагнуур хийхээс эхлээд нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг дамждаг. Дараа нь ионгүйжүүлсэн усаар зайлж, дараа нь өндөр даралттай, шүүсэн азотын цэвэрлэгээ хийснээр үлдсэн хэсгүүдийг арилгаж, хэсгүүдийн алдагдах эрсдлийг бууруулдаг.

2. Онцгой тоосонцорыг зайлуулах үр ашиг

SEMI F38 болон ISO 12500 туршилтын аргуудаар тогтоосон хатуу стандартыг дагаж мөрдөж, 0.003μm тоосонцрын 9 LRV шүүлтүүрийн гайхалтай үр ашигтайгаар эдгээр шүүлтүүрүүд нь зэврэлтээс үүссэн тоосонцор болон хөдөлж буй эд ангиас үүссэн тоосонцрыг үр дүнтэй арилгаж, хийн цэвэр ариун байдлыг хангадаг.

3. Дээд зэргийн механик бат бөх чанар

Өндөр хийн даралтыг ихэвчлэн ашигладаг үйлдвэрлэлийн процесс болон орчинд онцгой уян хатан чанарыг баталгаажуулахын тулд сайтар туршиж үзсэн эдгээр шүүлтүүрүүд нь ашиглалтын хугацаандаа тогтвортой ажиллагааг хангадаг.

4. Салбарын хамгийн өндөр стандартыг давсан

Хагас дамжуулагч боловсруулахад шаардлагатай хийн боловсруулалтын хатуу шүүлтүүрийн шаардлагыг давсан эдгээр шүүлтүүрүүд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хийн хангамжийн системд тавигддаг чухал шүүлтүүрийн үр ашиг, урсгалын нарийн хяналт, аюулгүй байдлын стандартыг хангахын тулд нарийн туршилтанд хамрагддаг.

5. Аюулгүй байдлын төлөөх тууштай үүрэг амлалт

Шатамхай, идэмхий, хортой болон пирофор процессын хийд өртөхөөс хамгаалахын тулд шүүлтүүрийн гэрийг нарийн гоожих туршилтанд хамруулж, 1x10-9 атм ску/секундээс бага гоожих хурдтай байлгахыг баталгаажуулдаг. Аюулгүй байдлын энэхүү тууштай амлалт нь аюултай хийг хязгаарлаж, хор хөнөөл учруулахаас урьдчилан сэргийлэхийг баталгаажуулдаг.

6. Чип үйлдвэрлэх шилдэг чанарын төлөөх эвлэршгүй цэвэр байдал

Эдгээр хийн шүүлтүүрүүд нь онцгой шүүлтүүрийн чадвар, аюулгүй байдлын тууштай байдал, салбарын хамгийн өндөр стандартыг баримталдаг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй үйл явцыг хамгаалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэд цэвэр ариун байдлын хамгаалагч болж, зөвхөн хамгийн цэвэр хий үйлдвэрлэлийн шугамаар урсаж байгааг баталгаажуулж, орчин үеийн ертөнцийг эрчим хүчээр хангадаг өндөр хүчин чадалтай микрочипүүдийг бий болгох замыг нээж өгдөг.

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн төрлүүд

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг янз бүрийн хэрэглээнд ашигладаг, үүнд:

* Электроник үйлдвэрлэл:

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд ашигладаг хэт цэвэр ус, хий, химийн бодисоос тоосонцорыг зайлуулахад ашигладаг.

* Химийн механик хавтгайжуулалт (ХМХ):

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг CMP зутангаас тоосонцорыг зайлуулахад ашигладаг бөгөөд эдгээр нь хагас дамжуулагч вафлиг өнгөлөхөд ашиглагддаг.

* Биоанагаахын:

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг анагаах ухааны оношлогоо, эмчилгээнд хэрэглэдэг шингэнээс тоосонцорыг зайлуулахад ашигладаг.

* Байгаль орчин:

Агаар болон уснаас тоосонцорыг зайлуулахын тулд хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг ашигладаг.

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн дөрвөн үндсэн төрөл байдаг:

1. Мембран шүүлтүүрүүд:

Мембран шүүлтүүр нь нимгэн, сүвэрхэг хальсаар хийгдсэн бөгөөд энэ нь бөөмсийг барьж байхдаа шингэнийг нэвтрүүлэх боломжийг олгодог.

 

Хагас дамжуулагчийн мембран шүүлтүүр

 

 

2. Гүн шүүлтүүрүүд:

Гүн шүүлтүүр нь шүүлтүүрээр урсах үед бөөмсийг барьж авдаг зузаан, муруй материалаар хийгдсэн байдаг.

 

Хагас дамжуулагчийн гүний шүүлтүүрүүд

 

 

3. Адсорбент шүүлтүүрүүд:

Адсорбент шүүлтүүрүүд нь бөөмсийг татаж, барьж байдаг материалаар хийгдсэн байдаг.

 

 Хагас дамжуулагчийн адсорбент шүүлтүүрүүд

 

 

4. Шалгарсан металл шүүлтүүр

Шалгарсан металл шүүлтүүрүүднь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг гүний шүүлтүүрийн нэг төрөл юм. Тэдгээрийг нарийн металл нунтагыг сүвэрхэг бүтэц болгон хайлуулах замаар хийдэг. Шатдаг металл шүүлтүүрүүд нь өндөр бат бөх чанар, өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг, өндөр температур, даралтыг тэсвэрлэх чадвараараа алдартай.

Хагас хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд зориулсан шатсан металл шүүлтүүрийн давуу талууд:

* Өндөр бат бөх чанар:

Шаталсан металл шүүлтүүр нь маш бат бөх бөгөөд өндөр температур, даралт, идэмхий химийн бодис зэрэг хүнд нөхцөлд тэсвэртэй.

 

* Өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг:

Шаталсан металл шүүлтүүр нь 0.01 микрон хүртэлх хэмжээтэй тоосонцорыг зайлуулж чаддаг бөгөөд энэ нь эмзэг хагас дамжуулагч эд ангиудыг бохирдлоос хамгаалахад чухал үүрэгтэй.

* Урт наслалт:

Шатаасан металл шүүлтүүр нь удаан эдэлгээтэй бөгөөд амархан цэвэрлэж, дахин ашиглах боломжтой.

* Химийн нийцтэй байдал:

Шаталсан металл шүүлтүүр нь олон төрлийн химийн бодисуудтай нийцдэг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн янз бүрийн процесст ашиглахад тохиромжтой.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд шатаасан металл шүүлтүүрийн хэрэглээ:

* Хийн цэвэршүүлэлт:

Шатдаг металл шүүлтүүрийг азот, устөрөгч, хүчилтөрөгч зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг хий цэвэршүүлэхэд ашигладаг.

* Химийн шүүлтүүр:

Шаталсан металл шүүлтүүрийг хүчил, суурь, уусгагч зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг химийн бодисыг шүүхэд ашигладаг.

* Хэт цэвэр усны шүүлтүүр:

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг хэт цэвэр усыг шүүхэд шатаасан металл шүүлтүүрийг ашигладаг.

* CMP зутан шүүлтүүр:

Хагас дамжуулагч вафлиг өнгөлөхөд ашигладаг CMP зутанг шүүхэд шатаасан металл шүүлтүүрийг ашигладаг.

Шаталсан металл шүүлтүүр нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын чухал хэсэг бөгөөд өндөр чанартай хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тусалдаг.

 

Тодорхой хэрэглээнд ашигласан хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн төрөл нь зайлуулж буй бөөмсийн хэмжээ, шүүж буй шингэний төрөл, хүссэн шүүлтүүрийн түвшингээс хамаарна.

Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн янз бүрийн төрлүүдийг нэгтгэн харуулсан хүснэгтийг энд оруулав.

Шүүлтүүрийн төрөл	Тайлбар	Аппликейшнүүд	Зураг
Мембран шүүлтүүрүүд	Бөөмсийг барьж байх зуур шингэнийг нэвтрүүлэх боломжийг олгодог нимгэн, сүвэрхэг хальсаар хийгдсэн.	Электроник үйлдвэрлэл, CMP, биоанагаах ухаан, байгаль орчин	Хагас дамжуулагчийн мембран шүүлтүүр
Гүнийн шүүлтүүрүүд	Шүүлтүүрээр урсах үед бөөмсийг барьж авдаг зузаан, муруй материалаар хийгдсэн.	CMP, биоанагаахын, байгаль орчны	Хагас дамжуулагчийн гүний шүүлтүүрүүд
Адсорбент шүүлтүүрүүд	Бөөмсийг татаж, барьж байдаг материалаар хийгдсэн.	Электроник үйлдвэрлэл, CMP, биоанагаах ухаан, байгаль орчин	Хагас дамжуулагчийн адсорбент шүүлтүүрүүд
Шалгарсан металл шүүлтүүрүүд	Нарийн металл нунтагыг сүвэрхэг бүтэц болгон хайлуулах замаар хийдэг.	Хийн цэвэршүүлэлт, химийн шүүлтүүр, хэт цэвэр усны шүүлтүүр, CMP зутан шүүлтүүр	Шинэ цонхонд нээгдэнэwww.hengko.com Хагас дамжуулагчийн шатсан металл шүүлтүүрүүд

Аппликейшн

Шатдаг металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн янз бүрийн хэрэглээнд өргөн ашигладаг. Өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг, бат бөх чанар, өндөр температур, даралтыг тэсвэрлэх чадвар зэрэг өвөрмөц шинж чанарууд нь тэдгээрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хийн хангамжийн системийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.

Шаталсан металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн зарим тодорхой хэрэглээг энд оруулав.

1. Вафли үйлдвэрлэл:

Шатсан металл шүүлтүүрийг азот, устөрөгч, хүчилтөрөгч зэрэг пластины үйлдвэрлэлд ашигладаг хийг цэвэршүүлэхэд ашигладаг. Эдгээр хий нь эпитаксиал өсөлт, сийлбэр, хольц бэлтгэх зэрэг процессуудад зайлшгүй шаардлагатай.

2. Химийн шүүлтүүр:

Шаталсан металл шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг хүчил, суурь, уусгагч зэрэг химийн бодисыг шүүхэд ашигладаг. Эдгээр химийн бодисыг цэвэрлэх, сийлэх, өнгөлөх зэрэг янз бүрийн зорилгоор ашигладаг.

3. Хэт цэвэр усны шүүлтүүр:

Шатсан металл шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг хэт цэвэр ус (UPW)-г шүүхэд ашигладаг. UPW нь вафли цэвэрлэх, зайлах, мөн химийн бодис бэлтгэхэд зайлшгүй шаардлагатай.

4. CMP зутан шүүлтүүр:

Хагас дамжуулагч вафлиг өнгөлөхөд ашигладаг CMP зутанг шүүхэд шатаасан металл шүүлтүүрийг ашигладаг. CMP нь микрочип үйлдвэрлэхэд чухал үйл явц юм.

5. Хэрэглэх цэгийн шүүлтүүр (POU):

Шаталсан металл шүүлтүүрийг ихэвчлэн POU шүүлтүүр болгон ашигладаг бөгөөд хамгийн өндөр түвшний шүүлтүүрийг хангахын тулд хэрэглээний цэг дээр шууд суурилуулдаг. POU шүүлтүүр нь микропроцессор болон бусад өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмж үйлдвэрлэх гэх мэт хийн цэвэр байдал чухал ач холбогдолтой хэрэглээнд онцгой чухал юм.

6. Өндөр цэвэршилттэй хий боловсруулах:

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд ашигладаг хийнээс бохирдлыг зайлуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй хий боловсруулах системд шатаасан металл шүүлтүүрийг ашигладаг. Эдгээр бохирдуулагчид тоосонцор, чийг, органик нэгдлүүд орно.

7. Микроэлектроникийн үйлдвэрлэл:

Шатдаг металл шүүлтүүрийг компьютер, таблет, гар утас, IoT мэдрэгч, хяналтын төхөөрөмж зэрэг микроэлектроникийн үйлдвэрлэлд ашигладаг.

8. Микро-цахилгаан механик систем (MEMS) шүүлтүүр:

Шатдаг металл шүүлтүүрийг MEMS шүүлтүүрт ашигладаг бөгөөд энэ нь микро цахилгаан механик системээс бохирдлыг зайлуулах үйл явц юм. MEMS-ийг мэдрэгч, идэвхжүүлэгч, хувиргагч зэрэг олон төрлийн хэрэглээнд ашигладаг.

9. Өгөгдөл хадгалах төхөөрөмжийн шүүлтүүр:

Шатдаг металл шүүлтүүрийг өгөгдөл хадгалах төхөөрөмжийн шүүлтүүрт ашигладаг бөгөөд энэ нь хатуу диск болон хатуу төлөвт хөтчүүд зэрэг өгөгдөл хадгалах төхөөрөмжүүдээс бохирдлыг зайлуулах үйл явц юм.

Эдгээр тодорхой хэрэглээнээс гадна шатаасан металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн бусад олон хэрэглээнд ашигладаг. Тэдний олон талт байдал, найдвартай байдал нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл болгодог.

Дээд зэргийн чанартай шатаасан металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр хайж байна уу?

HENGKO бол хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн систем дэх OEM шийдлүүдийн таны гол түнш юм.

Манай нарийн инженерчлэлтэй шүүлтүүрүүд нь таны үйл явцын найдвартай байдал, үр ашгийг хангаж, өрсөлдөөнт зах зээлд танд давуу талыг санал болгодог.

Яагаад HENGKO-ийн шүүлтүүрийг сонгох ёстой вэ?

* Дээд зэргийн чанар ба бат бөх чанар

* Таны хэрэгцээнд тохирсон захиалгат шийдлүүд

* Хагас хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн сайжруулсан гүйцэтгэл

Шүүлтүүрийн бэрхшээлүүд үйлдвэрлэлээ хойшлуулж болохгүй.

Манай шатаасан металл шүүлтүүрүүд танай үйлдвэрлэлийн системийг хэрхэн хувьсгал хийж чадах талаар судлахын тулд өнөөдөр бидэнтэй холбогдоно уу.

Бидэнтэй холбогдоно ууka@hengko.com

HENGKO-той түншлээд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт шилдэг алхам хийгээрэй!