Хагас дамжуулагч хийн хангамжийн системд зориулсан өндөр хүчин чадалтай IGS гадаргуугийн бэхэлгээний C битүүмжлэлийн шүүлтүүрүүд
Тайлбар
HENGKO гадаргуугийн бэхэлгээний шүүлтүүрүүд нь хагас дамжуулагч OEM багаж хэрэгсэлд ашиглагддаг нэгдсэн хийн системийн шаардлагуудыг хангахаар бүтээгдсэн. 0.003 µm нягтралтай салбартаа тэргүүлэгч шүүлтүүрийг санал болгодог эдгээр шүүлтүүрүүд нь 120 slpm-д ≥99.9999999% (9-LRV) бөөмсийг барьж авах үр ашигтайгаар онцгой гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг хангадаг.
Шүүлтүүрийн элемент болон гэрт зориулж шатаасан бат бөх 316L зэвэрдэггүй ган нунтагаар хийгдсэн эдгээр шүүлтүүрүүд нь SEMI F86-0304 техникийн үзүүлэлтүүдэд нийцсэн бөгөөд C хэлбэрийн битүүмжлэлийн тохиргоотой 1.125 инчийн хийн хуваарилах системд зориулагдсан хоёр порттой бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг агуулдаг. Эдгээр нь 100°C-д хамгийн ихдээ 3.4 МПа оролтын даралтыг, 100°C-д хамгийн ихдээ 0.69 МПа ажиллах даралтын зөрүүг дэмждэг.
Эдгээр тусгай шүүлтүүрүүд нь C болон W төрлийн битүүмжлэлийн үзүүлэлтүүдтэй нийцдэг бөгөөд бөөмсийг ялгаруулж, урсгалын цэвэр байдлыг хангадаг.
Ra гадаргуугийн өнгөлгөөтэйГадна талдаа < 1.6 µm ба RaДотор талдаа <0.13 µm зузаантай эдгээр шүүлтүүрүүд нь 460°C хүртэл өндөр температурыг тэсвэрлэх зориулалттай. Хялбар нэгтгэх, модульчлагдсан дизайныг шинэчлэх зориулалттайгаар бүтээгдсэн эдгээр шүүлтүүрүүд нь суурилуулалт, засвар үйлчилгээг хялбарчилж, хагас дамжуулагч хийн хангамж болон хяналтын хэрэглээнд системийн гүйцэтгэлийг оновчтой болгоход тусалдаг.
Бүтээгдэхүүний онцлог
▶ Нийт 316л зэвэрдэггүй ган хийцтэй
▶ Жижигрүүлсэн дизайн, авсаархан бүтэц, зай хэмнэх
▶ Маш сайн хийн орлуулалт болон десорбцийн шинж чанартай
▶ Өндөр температур, өндөр даралт болон зэврэлтэнд тэсвэртэй
▶ Цахилгаан өнгөлгөөтэй 316L зэвэрдэггүй ган гэр
▶ Хялбар бөгөөд үр ашигтай суурилуулалт болон засвар үйлчилгээ
▶ Механик битүүмжлэл, бүтцийн хувьд орчинд гагнаагүй
Өгөгдлийн хуудас
| Техникийн үзүүлэлтүүд | Үнэт зүйлс |
|---|---|
| Шүүлтүүрийн элементийн материал | 316L зэвэрдэггүй гангаар хийсэн нунтаг |
| Орон сууцны материал | 316L зэвэрдэггүй ган |
| Хамгийн их оролтын даралт | 100°C температурт 3.4 МПа |
| Үйл ажиллагааны хамгийн их зөрүү | 100°C температурт 0.69 МПа |
| Гелийн баталгаажуулалтын алдагдлын түвшин | 1x10⁻¹¹ cc/мин |
| Гелийн туршилтын алдагдлын хурд | 1x10⁻⁹ cc/мин |
| Гадаргуугийн боловсруулалт | Гаднах гадаргуу Ra< 1.6 мкм |
| Дотоод гадаргуу Ra< 0.13 мкм | |
| Хамгийн их ажиллах температур | 460°C |
| Бөөмийг барьж авах үр ашиг | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Лавлах MPPS, бүх хэсгүүд) |
| Доод урсгалын цэвэр байдал | Бөөмийн ялгарал:<0.03 ширхэг/литр (< 1 бөөм/фут³) |
| Тогтворгүй бодисууд:<10 ppb чийгшил | |
| Бөөмийн баривчлах хэмжээ | ≥0.003 мкм |
| Урсгалын хүрээ | 0 ~ 120 slpm |
Хэмжээ
Та захиалж болох эд ангийн дугаар болон хэмжээсийн дэлгэрэнгүй мэдээллийг энд оруулав.
| Бүтээгдэхүүний загвар | Урсгалын хурд | Өндөр (мм) | Шүүлтүүрийн нарийвчлал | Цэвэрлэгээний түвшин |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 минутанд | 51.6 | 0.003 мкм | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 мкм | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 мкм | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 мкм | C |
Ердийн хэрэглээ
W-битүүмжлэл болон C-битүүмжлэлтэй, 1.125” ба 1.5” гадаргуу дээр суурилуулсан модульчлагдсан хийн хангамжийн системтэй хамт хэрэглэнэ.
Бидэнд зурвасаа илгээнэ үү:
