Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр:
Чип үйлдвэрлэхэд хийн өөгүй цэвэр байдлыг хангах
Нарийвчлал, цэвэр байдал хамгийн чухал байдаг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй ертөнцөд чанарын
ашигласан хий нь үйл явцын амжилтыг тодорхойлоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Хязгааргүй бага түвшинд ч гэсэн бохирдол,
микрочипүүдийн нарийн хэлхээг сүйтгэж, тэдгээрийг гэмтэлтэй, ашиглах боломжгүй болгодог. Хамгаалахын тулд
Энэхүү чухал процесст хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр нь бохирдуулагчийг сайтар зайлуулж, тууштай хамгаалагчийн үүрэг гүйцэтгэдэг.
үйлдвэрлэлийн шугамаар урсаж буй хийн цэвэр чанарыг баталгаажуулах.
Шингэрүүлсэн металл шүүлтүүр нь маш олон давуу тал, давуу талуудтай
1. Хамгийн сүүлийн үеийн цэвэр өрөөнд урласан
Эдгээр шүүлтүүрүүд нь хамгийн орчин үеийн цэвэрхэн өрөөнд, ямар ч болзошгүй бохирдлыг багасгахын тулд төгс нөхцөлийг сайтар хангадаг орчинд төрсөн. Тэд цэвэршүүлсэн агаарын уур амьсгалд нарийн гагнуур хийхээс эхлээд нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг явуулдаг. Дараа нь ионгүйжүүлсэн усыг зайлуулж, дараа нь өндөр даралттай, шүүсэн азотын цэвэрлэгээ хийснээр үлдэгдэл тоосонцорыг арилгаж, тоосонцор асгарах эрсдэлийг бууруулдаг.
2. Бөөм арилгах онцгой үр ашиг
SEMI F38 болон ISO 12500 туршилтын аргуудаар тогтоосон хатуу стандартыг дагаж мөрддөг 0.003μm тоосонцорыг 9 LRV-ийн гайхалтай шүүх үр ашигтай эдгээр шүүлтүүрүүд нь хөдөлж буй хэсгүүдээс үүссэн зэврэлтээс үүссэн тоосонцор болон тоосонцорыг үр дүнтэй арилгаж, цэвэр ариун байдлыг баталгаажуулдаг. хий.
3. Дээд зэргийн механик хүч чадал
Өндөр хийн даралтыг ихэвчлэн ашигладаг үйлдвэрлэлийн үйл явц, орчинд онцгой уян хатан чанарыг баталгаажуулахын тулд хатуу туршсан эдгээр шүүлтүүрүүд нь ашиглалтын туршид тасралтгүй гүйцэтгэлийг хангадаг.
4. Аж үйлдвэрийн хамгийн өндөр стандартыг давсан
Хагас дамжуулагчийн боловсруулалтын хийн шүүлтүүрийн хатуу шаардлагыг давж, эдгээр шүүлтүүрүүд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хийн дамжуулах системд тавигдах чухал шүүлтүүрийн үр ашиг, нарийн урсгалын хяналт, аюулгүй байдлын стандартыг хангахын тулд нарийн шалгалтанд хамрагддаг.
5. Аюулгүй байдлын төлөө тууштай байх
Шатамхай, идэмхий, хортой, пирофорын процессын хийнд өртөхөөс хамгаалахын тулд шүүлтүүрийн орон сууцнууд нь нэвчилтийг нарийн шалгаж, 1х10-9 атм скк/секундээс бага гоожих хурдыг баталгаажуулдаг. Аюулгүй байдлын төлөөх энэхүү тууштай үүрэг хариуцлага нь аюултай хийг агуулж, хор хөнөөл учруулахаас сэргийлдэг.
6. Шилдэг чип үйлдвэрлэхэд үл нийцэх цэвэр байдал
Эдгээр хийн шүүлтүүрүүд нь шүүлтүүрийн онцгой чадвар, аюулгүй байдлын төлөө тууштай зүтгэж, салбарын хамгийн өндөр стандартыг дагаж мөрддөг тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн төвөгтэй үйл явцыг хамгаалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тэд цэвэр ариун байдлын манаач болж, үйлдвэрлэлийн шугамаар зөвхөн хамгийн цэвэр хий урсаж, орчин үеийн ертөнцийг эрчим хүчээр хангадаг өндөр хүчин чадалтай микрочипүүдийг бий болгох замыг нээж өгдөг.
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн төрлүүд
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг янз бүрийн хэрэглээнд ашигладаг, үүнд:
* Электроникийн үйлдвэрлэл:
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд ашигладаг хэт цэвэр ус, хий, химийн бодисоос тоосонцорыг арилгахад ашигладаг.
* Химийн механик хавтгайжуулалт (CMP):
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг хагас дамжуулагч ялтсыг өнгөлөхөд ашигладаг CMP зутангаас тоосонцорыг арилгахад ашигладаг.
* Био анагаах ухаан:
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг эмнэлгийн оношлогоо, эмчилгээнд хэрэглэдэг шингэнээс тоосонцорыг арилгахад ашигладаг.
* Байгаль орчин:
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийг агаар, уснаас тоосонцорыг арилгахад ашигладаг.
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн дөрвөн үндсэн төрөл байдаг.
1. Мембран шүүлтүүрүүд:
Мембран шүүлтүүр нь нарийн ширхэгтэй, сүвэрхэг хальсаар хийгдсэн бөгөөд тоосонцорыг барьж байхдаа шингэнийг нэвтрүүлэх боломжийг олгодог.
2. Гүн шүүлтүүрүүд:
Гүн шүүлтүүрүүд нь шүүлтүүрээр урсах үед тоосонцорыг барьж байдаг зузаан, эрчилсэн материалаар хийгдсэн байдаг.
3. Шингээгч шүүлтүүр:
Адсорбент шүүлтүүр нь тоосонцорыг татаж, барьж чаддаг материалаар хийгдсэн байдаг.
4. Синтерсэн металл шүүлтүүр
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг гүн шүүлтүүрийн нэг төрөл юм. Тэдгээр нь нарийн ширхэгтэй металл нунтагыг сүвэрхэг бүтэцтэй болгох замаар хийдэг. Синтерсэн металл шүүлтүүр нь өндөр бат бөх чанар, өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг, өндөр температур, даралтыг тэсвэрлэх чадвараараа алдартай.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулсан синтерсэн металл шүүлтүүрийн давуу талууд:
* Өндөр бат бөх чанар:
* Өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг:
* Урт наслалт:
* Химийн нийцтэй байдал:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд шингэсэн металл шүүлтүүрийн хэрэглээ:
* Хий цэвэршүүлэх:
Шилэн металл шүүлтүүр нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чухал хэсэг бөгөөд өндөр чанартай хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхэд тусалдаг.
Тодорхой хэрэглээнд ашигладаг хагас дамжуулагч шүүлтүүрийн төрөл нь устгаж буй хэсгүүдийн хэмжээ, шүүж буй шингэний төрөл, шүүлтүүрийн хүссэн түвшингээс хамаарна.
Хагас дамжуулагч шүүлтүүрүүдийн янз бүрийн төрлийг нэгтгэн харуулсан хүснэгтийг энд харуулав.
Шүүлтүүрийн төрөл | Тодорхойлолт | Хэрэглээ | Зураг |
---|---|---|---|
Мембран шүүлтүүрүүд | Нимгэн, сүвэрхэг хальсаар хийгдсэн бөгөөд энэ нь тоосонцорыг барьж байхдаа шингэнийг нэвтрүүлэх боломжийг олгодог. | Электроникийн үйлдвэрлэл, CMP, биоанагаах ухаан, байгаль орчны | |
Гүн шүүлтүүрүүд | Шүүлтүүрээр урсах үед тоосонцорыг барьж байдаг зузаан, эрчилсэн материалаар хийгдсэн. | CMP, биоанагаах ухаан, байгаль орчин | |
Шингээгч шүүлтүүрүүд | Бөөмүүдийг татаж, барьж чаддаг материалаар хийгдсэн. | Электроникийн үйлдвэрлэл, CMP, биоанагаах ухаан, байгаль орчны | |
Шингэрүүлсэн металл шүүлтүүр | Нарийн металлын нунтагыг сүвэрхэг бүтэцтэй болгох замаар хийсэн. | Хийн цэвэршүүлэх, химийн шүүлтүүр, хэт цэвэр усны шүүлтүүр, CMP зутан шүүлтүүр | Хагас дамжуулагчийн синтерсэн металл шүүлтүүр |
Өргөдөл
Синтерсэн металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн хэрэглээнд өргөнөөр ашигладаг. Тэдний өндөр шүүлтүүрийн үр ашиг, бат бөх чанар, өндөр температур, даралтыг тэсвэрлэх чадвар зэрэг өвөрмөц шинж чанарууд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хий дамжуулах системийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн зарим тусгай хэрэглээг энд харуулав.
1. Вафель үйлдвэрлэл:
Синтерсэн металл шүүлтүүрийг вафель үйлдвэрлэхэд ашигладаг азот, устөрөгч, хүчилтөрөгч зэрэг хийг цэвэрлэхэд ашигладаг. Эдгээр хий нь эпитаксиаль өсөлт, сийлбэр, допинг зэрэг процессуудад зайлшгүй шаардлагатай.
2. Химийн шүүлтүүр:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хүчил, суурь, уусгагч гэх мэт химийн бодисуудыг шүүж, металл шүүлтүүрийг ашигладаг. Эдгээр химийн бодисыг цэвэрлэх, сийлбэрлэх, өнгөлөх зэрэг олон төрлийн зориулалтаар ашигладаг.
3. Хэт цэвэр усны шүүлтүүр:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг хэт цэвэр усыг (UPW) шүүдэг металл шүүлтүүрийг ашигладаг. UPW нь хавтанцарыг цэвэрлэх, угаах, түүнчлэн химийн бодис бэлтгэхэд зайлшгүй шаардлагатай.
4. CMP зутан шүүлт:
Хагас дамжуулагч ялтсыг өнгөлөхөд ашигладаг CMP зутанг шүүж синтерсэн металл шүүлтүүрийг ашигладаг. CMP нь микрочип үйлдвэрлэх чухал үйл явц юм.
5. Ашиглалтын цэгийн шүүлтүүр (POU):
Синтерсэн металл шүүлтүүрийг ихэвчлэн POU шүүлтүүр болгон ашигладаг бөгөөд шүүлтүүрийг хамгийн дээд түвшний шүүлтүүрээр хангахын тулд ашиглалтын цэг дээр шууд суурилуулдаг. POU шүүлтүүр нь микропроцессор болон бусад өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийн үйлдвэрлэл гэх мэт хийн цэвэршилт чухал байдаг хэрэглээнд онцгой ач холбогдолтой юм.
6. Өндөр цэвэршилттэй хийтэй харьцах:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигласан хийн бохирдлыг арилгахын тулд өндөр цэвэршилттэй хий боловсруулах системд синтерсэн металл шүүлтүүрийг ашигладаг. Эдгээр бохирдуулагчид тоосонцор, чийг, органик нэгдлүүд байж болно.
7. Микроэлектроникийн үйлдвэрлэл:
Синтерсэн металл шүүлтүүрийг компьютер, таблет, гар утас, IoT мэдрэгч, хяналтын төхөөрөмж гэх мэт микро электроникийн үйлдвэрлэлд ашигладаг.
8. Бичил цахилгаан механик систем (MEMS) шүүлтүүр:
Синтерсэн металл шүүлтүүрийг MEMS шүүлтүүрт ашигладаг бөгөөд энэ нь бичил цахилгаан механик системээс бохирдуулагчийг зайлуулах процесс юм. MEMS нь мэдрэгч, идэвхжүүлэгч, хувиргагч зэрэг олон төрлийн хэрэглээнд ашиглагддаг.
9. Мэдээлэл хадгалах төхөөрөмжийн шүүлтүүр:
Хатуу диск болон хатуу төлөвт хөтчүүд гэх мэт өгөгдөл хадгалах төхөөрөмжөөс бохирдуулагч бодисыг зайлуулах үйл явц болох өгөгдлийн хадгалалтын төхөөрөмжийн шүүлтүүрт синтерлэсэн металл шүүлтүүрийг ашигладаг.
Эдгээр тусгай хэрэглээнээс гадна шингэрүүлсэн металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бусад төрөл бүрийн хэрэглээнд ашигладаг. Тэдний олон талт байдал, найдвартай байдал нь тэдгээрийг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл болгодог.
Хамгийн сайн чанарын шингэрүүлсэн металл хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр хайж байна уу?
HENGKO бол хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн систем дэх OEM шийдлүүдийн таны гол түнш юм.
Манай нарийн боловсруулсан шүүлтүүрүүд нь таны үйл явцын найдвартай, үр ашигтай байдлыг хангаж, өрсөлдөөнт зах зээлд давуу талыг санал болгодог.
Яагаад HENGKO-ийн шүүлтүүрийг сонгох ёстой вэ?
* Дээд зэргийн чанар, бат бөх чанар
* Таны тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн тохируулсан шийдлүүд
* Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн сайжруулсан гүйцэтгэл
Шүүлтүүрийн сорилт таны үйлдвэрлэлийг саатуулахыг бүү зөвшөөр.
Манай гангарсан металл шүүлтүүрүүд таны үйлдвэрлэлийн системд хэрхэн хувьсгал хийж болохыг судлахын тулд өнөөдөр бидэнтэй холбогдоорой.
хаягаар бидэнтэй холбогдоно ууka@hengko.com
HENGKO-тай хамтран ажиллаж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн шилдэг алхам руу ороорой!