Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр гэж юу вэ?

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь сийлбэр, тунадас, фотолитограф зэрэг нарийн процессуудад тулгуурлан орчин үеийн технологийг хүчирхэгжүүлдэг.

Эдгээр процессууд нь азот, устөрөгч зэрэг хэт цэвэр хийг шаарддаг бөгөөд энэ нь бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулахын тулд бохирдуулагчгүй байх ёстой.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрчийг, нүүрсустөрөгч, тоосонцор зэрэг хольцыг зайлуулж, цэвэр байдлыг хангах замаар шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг.

үр ашигтай, найдвартай үйлдвэрлэлд шаардлагатай.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр гэж юу вэ?

A хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүртоосонцор, чийг, нүүрсустөрөгч зэрэг бохирдуулагчийг зайлуулах зориулалттай тусгай шүүлтүүр төхөөрөмж юм.

хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг хий. Эдгээр шүүлтүүрүүд нь сийлбэр, тунадас, литограф зэрэг процессуудад шаардлагатай хэт өндөр цэвэршилтийг хангадаг.

бичил харуурын хольц хүртэл бүтээгдэхүүний чанарыг алдагдуулж болзошгүй.

Эдгээр шүүлтүүрүүд нь ихэвчлэн дэвшилтэт материалаар хийгдсэн байдагзэвэрсэн зэвэрдэггүй ган, PTFE (политетрафторэтилен), бакерамик, аль

маш сайн химийн эсэргүүцэл, бат бөх чанар, өндөр цэвэршилттэй хийн системтэй нийцтэй байдлыг хангана. Бохирдуулагчгүй хийн урсгалыг хадгалах замаар,

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр нь орчин үеийн микрочип үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр яагаад чухал вэ?

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесс нь бохирдуулагчид маш мэдрэмтгий байдаг.

Тэр ч байтугай бичил харуурын хольц нь өрмөнцөрт согог үүсгэж, хүргэдэгбагассан ургац,

төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг алдагдуулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг нэмэгдүүлсэн.

Нийтлэг бохирдуулагч бодисуудҮүнд:

*Бөөмс:

Тоос, металл үртэс эсвэл бусад хатуу хог хаягдал.

* Чийг:

Өргөст хальсыг доройтуулдаг химийн урвал үүсгэж болно.

*Нүүрс устөрөгч:

Хүсээгүй үлдэгдлийг нэвтрүүлэх эсвэл химийн процесст саад учруулах.

Сийлбэр, тунадас гэх мэт чухал үйл явц дахь цэвэр бус хий нь тэгш бус давхарга, алдаатай хэлхээ,

болон татгалзсан чипс.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр

хийн цэвэршилтийг хангах, вафель чанарыг хамгаалах, үйлдвэрлэлийн шугамын үр ашгийг хадгалахад зайлшгүй шаардлагатай.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн төрлүүд

1. Бөөмийн шүүлтүүр

*Хийн урсгалаас тоос шороо, хог хаягдал зэрэг хатуу тоосонцорыг зайлуулах зориулалттай.

*Хийн урсгалыг хязгаарлахгүйгээр бохирдуулагчийг барьж авахын тулд хэт нарийн нүх сүвний хэмжээг (жишээ нь, дэд микрон) онцолдог.

*Бүх удаан эдэлгээтэй, химийн бодист тэсвэртэй байх үүднээс зэвэрдэггүй ган зэрэг материалаар ихэвчлэн хийдэг.

2. Молекулын бохирдуулагч шүүлтүүр

*Чийг, нүүрсустөрөгч зэрэг молекулын түвшний бохирдлыг арилгах зорилгоор тусгайлан боловсруулсан.

*Бохирдуулагчийг химийн болон физикийн аргаар барихын тулд PTFE эсвэл идэвхжүүлсэн нүүрс зэрэг дэвшилтэт материалыг ихэвчлэн ашигладаг.

*Чийг болон органик үлдэгдэлд мэдрэмтгий процессуудад хэт өндөр цэвэршилтийг хадгалахад чухал ач холбогдолтой.

3. Хосолсон шүүлтүүрүүд

*Бөөмс болон молекулын бохирдуулагчийг нэгэн зэрэг арилгахын тулд олон давхаргат шүүлтүүрийг санал болгоно.

* Янз бүрийн хольцтой хийн урсгалд тохиромжтой.

*Бөөмийн шүүлтүүрт зориулсан шингэрүүлсэн материал, химийн шингээгч зэрэг технологийг хослуулах

молекулын бохирдуулагчийг зайлуулах зориулалттай.

Шүүлтүүрийн загвар ба технологийн харьцуулалт

*Шингэрүүлсэн металл шүүлтүүр:

Өндөр даралтын системд тоосонцор арилгахад удаан эдэлгээтэй, үр дүнтэй.

*Мембран дээр суурилсан шүүлтүүрүүд:

Маш сайн молекул шүүлтүүрээр хангадаг боловч бага даралт шаарддаг.

* Гибрид шүүлтүүрүүд:

Компакт загварт иж бүрэн шүүлт хийхийн тулд шингэрүүлсэн болон мембран технологийг хослуулах.

Шүүлтүүрийн сонголт нь хий, ашиглалтын нөхцөл, бохирдлын эрсдэлээс хамаарна

хагас дамжуулагч процесс.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн үндсэн шинж чанарууд

1. Шүүлтийн үр ашиг

*Өчүүхэн жижиг тоосонцор болон молекулын бохирдуулагчийг арилгахын тулд микроны доод түвшний шүүлтүүрт зориулагдсан.

*Мэдрэмтгий хагас дамжуулагч процесст чухал ач холбогдолтой хэт өндөр цэвэршилттэй хийг баталгаажуулдаг.

2. Дулааны болон химийн өндөр эсэргүүцэл

* Хэт өндөр температурт тэсвэртэй зэвэрдэггүй ган, PTFE гэх мэт материалаар хийгдсэн

болон идэмхий хий.

* Реактив эсвэл өндөр температуртай орчинтой холбоотой төрөл бүрийн хэрэглээнд тохиромжтой.

3. Бат бөх, удаан эдэлгээтэй

*Эвдрэл багатай, солих давтамж, сул зогсолтыг багасгаж, удаан хугацаагаар ашиглах зориулалттай.

*Материал нь элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд удаан хугацааны туршид гүйцэтгэлийг хадгална.

4. Хэт өндөр цэвэршилттэй хийн системтэй нийцтэй байх

*Бохирдуулагч бодис оруулахгүйгээр өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойд саадгүй нэгтгэх зориулалттай.

*Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тогтвортой гүйцэтгэлийг хангах цэвэр байдлын салбарын стандартыг хангана.

Эдгээр шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг үр ашиг, найдвартай байдлыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай болгодог

дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн орчинд чанарын .

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн хэрэглээ

1. Хагас дамжуулагчийн процессууд

* Сийлбэр:

Шүүлтүүрүүд нь вафель дээр наасан хэв маягийн согогоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд хэт цэвэр хийг баталгаажуулдаг.

* Хадгаламж:

Химийн болон физикийн хувьд жигд нимгэн хальс үүсгэхийн тулд өндөр цэвэршилттэй хий шаардлагатай

уурын хуримтлал (CVD ба PVD) үйл явц.

* Литографи:

Хийн шүүлтүүр нь хольцыг арилгах замаар фотолитографийн процессын нарийвчлалыг хадгалдаг

Энэ нь саад учруулж болзошгүй юмгэрлийн нөлөөлөл эсвэл химийн урвалаар.

2. Шүүлтүүр хийх шаардлагатай хий

*Азот (N₂):

Цэвэрлэх болон тээвэрлэгч хий болгон ашигладаг бөгөөд бохирдлоос зайлсхийхийн тулд туйлын цэвэр байдлыг шаарддаг.

*Аргон (Ар):

Бохирдол нь тогтвортой байдлыг алдагдуулж болзошгүй плазмын процесс, хуримтлалд зайлшгүй шаардлагатай.

*Хүчилтөрөгч (O₂):

Бохирдуулагчгүй нийлүүлэх шаардлагатай исэлдүүлэх, цэвэрлэх процесст ашигладаг.

* Устөрөгч (H₂):

Орчны бохирдол багатай, тунадасжилт, сийлбэрийн орчныг багасгахад чухал ач холбогдолтойуралдах.

3. Хагас дамжуулагчаас гадна үйлдвэрүүд

* Эмийн бүтээгдэхүүн:

Эмзэг бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх, савлахад зориулсан хэт цэвэр хий.

* Сансар огторгуй:

Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн процесс нь цэвэр хийн орчинд тулгуурладаг.

*Хоол, ундаа:

Шүүлтүүр нь савлах, боловсруулахад бохирдолгүй хийг баталгаажуулдаг.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр нь аль алинд нь нарийвчлал, үр ашиг, чанарыг хангахад амин чухал юм

хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлболон бусад өндөр цэвэршилттэй хэрэглээ.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийг хэрхэн зөв сонгох вэ

1. Анхаарах хүчин зүйлүүд

* Хийн төрөл: Янз бүрийн хий нь янз бүрийн бохирдлын эрсдэлтэй байдаг (жишээ нь, азотын чийг, устөрөгчийн хувьд нүүрсустөрөгч). Тодорхой хийд тохирсон шүүлтүүрийг сонго.

* Урсгалын хурд: Шүүлтүүр нь шаардлагатай хийн урсгалыг үр ашгийг бууруулж, даралтын уналт үүсгэхгүйгээр зохицуулж чадах эсэхийг шалгаарай.

* Ашиглалтын даралт: Системийнхээ даралтын мужид, ялангуяа өндөр даралттай орчинд зориулагдсан шүүлтүүрийг сонго.

* Тохиромжтой байдал: Шүүлтүүрийн материалууд нь хий болон бусад системийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй химийн нийцэж байгаа эсэхийг шалгана уу.

2. Нүхний хэмжээ ба материалын сонголтын ач холбогдол

*Нүх сүвний хэмжээ: Бохирдуулагчийг хүссэн үр ашигтайгаар арилгахад тохиромжтой нүх сүвний хэмжээ бүхий шүүлтүүрийг сонгоно уу (жишээ нь чухал хэрэглээнд дэд микроны түвшин).

* Материал: гэх мэт бат бөх материалыг сонгооройзэвэрсэн зэвэрдэггүй гантоосонцор эсвэл молекулын бохирдуулагчид зориулсан PTFE нь зэврэлт, дулаан, даралтыг эсэргүүцэх чадварыг баталгаажуулдаг.

3. Засвар үйлчилгээ, солих зөвлөмжүүд

*Шүүлтүүрийг гацсан, элэгдэлд орсон, гүйцэтгэл буурсан эсэхийг тогтмол шалгаж байх.

*Бохирдол үүсэхээс сэргийлэхийн тулд шүүлтүүрийг цэвэрлэх, солихдоо үйлдвэрлэгчийн зааврыг дагана уу.

*Шүүлтүүрийн үр ашгийг хянах, хэзээ солих шаардлагатайг тодорхойлохын тулд боломжтой бол хяналтын хэрэгслийг ашиглана уу.

Эдгээр хүчин зүйлсийг сайтар үнэлж, шүүлтүүрийг зөв арчласнаар та хагас дамжуулагчийн хэрэглээний хамгийн оновчтой хийн цэвэршилт, системийн ажиллагааг хангах боломжтой.

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн технологийн дэвшил

1. Материалын шинжлэх ухааны инноваци

*Нано-бөөмийн шүүлтүүр: Молекулын болон атомын түвшинд бохирдуулагчийг барих чадвартай дэвшилтэт материалыг боловсруулах.

Энэ нь хэт мэдрэмтгий хагас дамжуулагч процессын хийн цэвэршилтийг бүр ч өндөр түвшинд байлгадаг.

*Эрлийз материал: Шингэрүүлсэн металлыг дэвшилтэт полимеруудтай хослуулан удаан эдэлгээтэй, удаан эдэлгээтэй шүүлтүүрүүдийг бий болгодог

төрөл бүрийн бохирдуулагчийг зайлуулах өндөр үр дүнтэй.

2. Ухаалаг шүүлтүүрийн систем

* Мониторинг хийх боломжтой:

Шүүлтүүрийн гүйцэтгэл, даралтын уналт, бохирдлын түвшинг бодит цаг хугацаанд хянах мэдрэгчийг нэгтгэх.

* Урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээ:

Ухаалаг систем нь шүүлтүүрийг цэвэрлэх, солих шаардлагатай үед операторуудад мэдэгддэг бөгөөд зогсолтыг багасгаж, засвар үйлчилгээний хуваарийг оновчтой болгодог.

3. Тогтвортой, эрчим хүчний хэмнэлттэй загвар

* Байгальд ээлтэй материал:

Хог хаягдлыг багасгахын тулд дахин боловсруулах боломжтой эсвэл байгаль орчинд ээлтэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдээр хийсэн шүүлтүүрүүд.

*Эрчим хүчний үр ашиг:

Даралтын уналт, эрчим хүчний зарцуулалтыг багасгаж, шүүлтүүрийн чанарыг алдагдуулахгүйгээр системийн үр ашгийг дээшлүүлдэг загварууд.

Эдгээр дэвшилтүүд нь хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүрийн гүйцэтгэлийг сайжруулаад зогсохгүй зардлын хэмнэлт болон

хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өсөн нэмэгдэж буй эрэлт хэрэгцээнд нийцүүлэн байгаль орчны тогтвортой байдал.

Дүгнэлт

Хагас дамжуулагч хийн шүүлтүүр нь хэт цэвэр хийг хангах, вафель чанарыг хамгаалах, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхэд амин чухал юм.

Хагас дамжуулагчийн технологийг хөгжүүлэх, салбарын хатуу стандартыг хангахад тэдний үүрэг чухал юм.

Тохиромжтой шийдлүүдийг авахын тулд өөрийн хэрэгцээнд тохирсон хамгийн сайн шүүлтүүрийг сонгохын тулд мэргэжилтнүүдтэй зөвлөлдөж, үйл ажиллагааныхаа гүйцэтгэлийг дээд зэргээр баталгаажуулна уу.